Descripción del producto
I. Descripción general
El MKS 223BD-00001AAB es un módulo de sensado de presión central específicamente dise?ado para escenarios de automatización industrial y medición precisa. Adopta la tecnología de capacitancia variable para lograr la captura y conversión de alta precisión de las se?ales de presión. Como interfaz clave que conecta los parámetros físicos de presión y los sistemas de control, su función central es convertir los cambios de presión en el rango de 0 a 10 Torr (aproximadamente 1.33 mbar) en una salida de se?al eléctrica estable, proporcionando soporte de datos de presión en tiempo real y confiable para los sistemas de automatización.
Este sensor integra adaptabilidad a un amplio rango de temperaturas y un dise?o de protección de grado industrial. Su temperatura de funcionamiento oscila entre -40°C y +85°C, y tiene una clasificación de protección IP65, lo que puede resistir la interferencia de entornos hostiles como polvo, contaminación por aceite y salpicaduras de agua a baja presión. Con una precisión de medición del 0.5% de la escala completa (F.S.) y una estabilidad anual mejor que ±0.1% F.S., se utiliza ampliamente en campos con requisitos estrictos para la precisión y confiabilidad de la medición de presión, como la fabricación de semiconductores, el monitoreo de salas limpias, equipos médicos y pruebas aeroespaciales. Es un componente de sensado central para la realización de un control preciso del proceso.
II. Especificaciones técnicas
(I) Parámetros de rendimiento de medición
Rango y precisión:
El rango de medición es de 0 a 10 Torr (1 Torr ≈ 0.133 mbar), centrado en escenarios de medición de bajo vacío y micropresión, y se adapta a las necesidades de monitoreo de presión como el flujo de aire en salas limpias y equipos de vacío.
La precisión alcanza el 0.5% de la escala completa (F.S.), y la estabilidad anual es mejor que ±0.1% F.S. Puede mantener la confiabilidad de los datos sin calibración frecuente durante el uso a largo plazo.
Respuesta y características de la se?al:
El tiempo de respuesta es inferior a 2 milisegundos, lo que puede capturar rápidamente las fluctuaciones dinámicas de presión, lo que lo hace adecuado para escenarios de monitoreo de presión transitoria como experimentos en túneles de viento y pruebas de motores.
Proporciona una se?al analógica estándar de 0-5 VDC, que se puede adaptar directamente a los sistemas PLC y DCS principales como la serie Siemens S7 y la serie Mitsubishi FX, sin necesidad de convertidores de se?al adicionales.
El ruido de la se?al está en un nivel bajo líder en la industria, y combinado con la estructura de diafragma de metal completo, suprime efectivamente el impacto de la interferencia ambiental en los datos de medición.
(II) Parámetros físicos y ambientales
Apariencia e instalación:
Adopta un dise?o modular compacto (las dimensiones específicas no están disponibles públicamente; se presume que es compatible con la instalación en riel de guía estándar de 35 mm o en panel). Es ligero y se puede instalar flexiblemente en espacios angostos como gabinetes de control y cámaras de equipos.
La interfaz de presión adopta especificaciones estándar industriales (se presume que es M5 o 1/8"NPT), que es compatible con componentes de conexión neumática comunes y tiene una fuerte compatibilidad de instalación.
Adaptabilidad ambiental:
Tiene una clasificación de protección IP65, que proporciona protección completa contra el polvo y resistencia a las salpicaduras de agua a baja presión. Se puede utilizar directamente en entornos húmedos y polvorientos como talleres de procesamiento de alimentos y equipos de medición y control al aire libre.
El rango de temperatura de funcionamiento abarca desde -40°C hasta +85°C, lo que está muy por encima del de los sensores industriales convencionales (-20°C a +60°C), lo que lo hace adecuado para escenarios de temperatura extrema como equipos al aire libre en zonas frías y áreas alrededor de calderas de reacción de alta temperatura.
Tolerancia mecánica:
La estructura de diafragma de metal completo tiene una excelente resistencia a la vibración y al choque, y puede soportar un entorno de vibración de 10-500Hz con una aceleración de 5g, lo que lo hace adecuado para condiciones de trabajo con vibración como la metalurgia y la industria aeroespacial.
El diafragma tiene una fuerte resistencia a la corrosión química y es compatible con medios comunes como gases neutros y aire seco, lo que prolonga su vida útil.
(III) Parámetros eléctricos y de compatibilidad
Alimentación y consumo de energía:
Soporta una entrada de voltaje amplia de 11-18 VDC, y es compatible con módulos de alimentación dedicados de MKS o soluciones de alimentación DC definidas por el usuario, sin necesidad de componentes estabilizadores de voltaje adicionales.
El consumo de energía en modo de espera es bajo (se presume que es ≤0.5W), lo que lo hace adecuado para equipos de medición portátiles alimentados por batería o sistemas de automatización de bajo consumo.
Rendimiento anti-interferencia:
Tiene una capacidad de protección ESD de descarga de aire de ±15kV, cumpliendo con la norma IEC 61000-4-2, y aún puede proporcionar una salida de se?al estable en entornos electromagnéticos fuertes como talleres de semiconductores.
Los cables de se?al adoptan un dise?o blindado, lo que reduce efectivamente la interferencia de acoplamiento electromagnético y garantiza que la relación se?al-ruido de la se?al de salida sea mejor que 50dB.

III. Características funcionales
(I) Medición de alta precisión y estabilidad a largo plazo
Basado en la tecnología de sensado de capacitancia variable, se realiza la detección de presión cambiando el valor de capacitancia a través de la deformación del diafragma. En comparación con los sensores piezoeléctricos tradicionales, tiene una mayor linealidad y una menor deriva térmica. La precisión del 0.5% F.S. puede satisfacer los requisitos de control de vacío de los procesos de grabado de wafers en la fabricación de semiconductores, y la estabilidad de ±0.1% F.S. por a?o reduce en gran medida la frecuencia de calibración y baja los costos de mantenimiento. En el monitoreo del flujo de aire en salas limpias, puede capturar en tiempo real las fluctuaciones de presión a nivel de 0.1 Torr, proporcionando datos precisos para el ajuste del equilibrio del flujo de aire.
(II) Adaptabilidad ambiental de amplio rango
El rango de temperatura de funcionamiento ultra-ancho de -40°C a +85°C resuelve el problema de que los sensores convencionales no pueden funcionar normalmente en escenarios como equipos al aire libre en áreas extremadamente frías y alrededor de hornos de alta temperatura. La estructura completamente sellada con protección IP65, combinada con anillos de sellado de goma resistentes al aceite, puede prevenir efectivamente la invasión de fluidos de enfriamiento y aceites lubricantes a los componentes internos de sensado, y aún puede mantener un rendimiento estable durante las operaciones de limpieza en talleres de procesamiento de alimentos y entornos contaminados con aceite en la industria petroquímica.
(III) Bajo ruido y respuesta rápida
El tiempo de respuesta ultra-rápido de 2 milisegundos puede capturar los cambios instantáneos de la presión dinámica. En experimentos de túneles de viento aeroespaciales, puede restaurar con precisión las características de pulso de la presión del flujo de aire; la salida de se?al de bajo ruido garantiza la precisión de retroalimentación de presión de los ventiladores médicos y evita errores de control del flujo de aire causados por fluctuaciones de se?al. La estructura rígida del diafragma de metal completo reduce aún más el ruido de resonancia mecánica, lo que hace que los datos de medición sean más confiables.
(IV) Adaptación flexible y fácil integración
La combinación de una alimentación de voltaje ancho de 11-18 VDC y una salida de se?al estándar de 0-5 VDC le permite conectarse directamente a la mayoría de los sistemas de control industrial sin módulos de acondicionamiento de se?al adicionales. El dise?o compacto es adecuado para diferentes escenarios de instalación, y la misma interfaz puede ser compatible con sensores de la serie 223B con múltiples rangos de presión. No es necesario modificar la estructura de instalación y el cableado durante las actualizaciones posteriores del sistema, lo que reduce los costos de transformación.
IV. Escenarios de aplicación
(I) Campo de la fabricación de semiconductores
En equipos de litografía y grabado de wafers, se utiliza para monitorear el grado de vacío en la cámara de reacción. La precisión del 0.5% F.S. garantiza que la presión de la cámara se mantenga estable dentro del rango de 1-10 Torr requerido por el proceso, evitando defectos en los wafers causados por fluctuaciones de presión. La protección IP65 y las capacidades de anti-interferencia electromagnética pueden resistir el impacto del vapor de líquido de grabado y la radiación electromagnética del equipo, garantizando la confiabilidad de la medición en producción continua.
(II) Sistemas de salas limpias y HVAC
En las salas limpias de fábricas electrónicas, monitorea en tiempo real la diferencia de presión entre la tubería de suministro de aire y la habitación (generalmente mantenida en 5-10 Torr), y ajusta la velocidad del ventilador a través de la retroalimentación de se?al para garantizar el flujo unidireccional de aire limpio. Las características de amplia temperatura son adecuadas para los sistemas HVAC en diferentes regiones, y puede funcionar de manera estable en entornos como los inviernos del norte (-20°C) y los veranos del sur (+40°C), optimizando la distribución del flujo de aire y reduciendo el consumo de energía.
(III) Equipamiento médico e investigativo científico
En ventiladores, se utiliza para monitorear los cambios de presión en las vías respiratorias. La velocidad de respuesta de 2 milisegundos puede proporcionar en tiempo real la información sobre el estado de respiración del paciente, y combinada con la salida de se?al de bajo ruido, evita que el equipo active erróneamente el mecanismo de protección de presión. En instrumentos analíticos como espectrómetros de masas, mide con precisión la presión de vacío de la fuente de iones, proporcionando una garantía básica para la precisión de la detección de sustancias.
(IV) Pruebas aeroespaciales
En experimentos de túneles de viento, se incrusta en la superficie del modelo para monitorear la distribución de presión del flujo de aire, y su característica de respuesta rápida captura los pulsos de presión transitorios; en pruebas de motores en tierra, soporta entornos de alta temperatura (+80°C) y vibración, y proporciona en tiempo real la información sobre los cambios de presión en la zona de baja presión de la cámara de combustión, proporcionando datos para la optimización del rendimiento.